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微流道芯片

微流道芯片

Product pilot test

玻璃芯片
介紹:玻璃是一種非晶材料,光學(xué)透明且電絕緣性能好。玻璃芯片流道深度20um以上加工效率高,深寬比2:1以上。 微流控玻璃芯片微細(xì)加工技術(shù)的基本過程包括涂膠、曝光、顯影、腐蝕、去膠等步驟,根據(jù)流道條件可以選擇濕法腐蝕和干法刻蝕,濕法腐蝕具有各向同性,干法刻蝕具有各向異性,目前,微流控玻璃芯片最常用的濕法腐蝕法。微流控玻璃芯片濕法腐蝕流程

特點(diǎn)
● 透光性和電滲性良好,熒光背景低 
● 具有化學(xué)惰性且與大多數(shù)生物樣品相兼容,因此能夠保持良好的生物相容性
● 機(jī)械強(qiáng)度大,微通道的熱變形小 
● 允許涂層,表面通道易于修飾 
● 具有耐高壓性 
● 液滴尺寸可控,均一性強(qiáng) 
應(yīng)用
毛細(xì)管電泳
片上反應(yīng)液滴形成
溶液萃取和原位制造
可選材料

1.硼硅玻璃:BF33玻璃,是一種高硼硅玻璃具有出色的耐熱性、極高的透明度、高化學(xué)耐受性以及優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度。
2.石英玻璃:具有低熱膨脹系數(shù)、耐化學(xué)性強(qiáng)、耐高溫(最高可達(dá) 900oC) 、具有優(yōu)異的光學(xué)性能,如均勻性和高紫外線透射率,適用于微流體流動池、微反應(yīng)器和紫外分光光度法檢測的微流控芯片。
石英玻璃 也比其他類型的玻璃更能抵抗熱沖擊。

工藝能力

1.深度1um內(nèi)用IBE刻蝕,刻蝕精度10%以內(nèi),深寬比1:1,加工效率高。
2.深度1-20um,可用NLD刻蝕,刻蝕具有高刻蝕速率、高均勻性、高等離子體密度及低壓放電。
3.深度20um以上用濕法腐蝕,加工效率高,深寬比2:1以上。 4.線寬200um以上,精度要求低,可采用激光刻蝕。

標(biāo)準(zhǔn)玻璃液滴芯片可選規(guī)格:收縮口60um,深度28um;收縮口100um,深度48um。也可定制其它規(guī)格的玻璃芯片,歡迎咨詢。
加工案例
T型液滴 流動聚焦型 激光刻蝕
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