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光刻

接觸式光刻

步進(jìn)式光刻

電子束光刻

雙面對(duì)準(zhǔn)光刻

勻膠/顯影

噴膠

熱板/烘箱

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鍍膜

低壓化學(xué)氣相沉積

等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積

感應(yīng)耦合化學(xué)氣相沉積

原子層沉積

光學(xué)鍍膜

濺射沉積

電子束蒸發(fā)

熱蒸發(fā)

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刻蝕

堿性腐蝕

酸性腐蝕

光刻膠剝離

電感耦合等離子刻蝕

深硅刻蝕DRIE

深氧化硅刻蝕

離子束刻蝕

反應(yīng)離子刻蝕

灰化

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外延生長(zhǎng)·摻雜

金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積

化學(xué)氣相沉積

離子注入

高溫氧化

高溫?cái)U(kuò)散/退火

快速退火

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切割·減薄

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激光切割

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解理機(jī)

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電鍍

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LIGA微細(xì)加工

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器件封裝

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TSV（硅通孔）工藝

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通孔制作技術(shù)

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