微特云辦公系統(tǒng)
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2021-09-09
MEMS代工主要包括微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理電路等幾部分， MEMS芯片有的帶有腔體和薄膜、有的帶有懸梁，這些微機械結...
2021-04-30
MEMS加工平臺的全稱是微型電子機械系統(tǒng)(MicroElectromechanicalSystem)，是利用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料，集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械機構、...
2021-04-13
CVD 加工工藝是制作微傳感器、微執(zhí)行器 和 MEMS加工的主流技術 ,是近年來隨著集成電路工藝 發(fā)展起來的 ,它是離子束、電子束、...
2020-12-18
mems器件加工是根據(jù)產(chǎn)品需要，在各類襯底（硅襯底，玻璃襯底，石英襯底，藍寶石襯底等等）制作微米級微型結構的加工工藝。微納傳感器加工工藝制作的...
2020-11-24
微納代工服務商分為IDM廠商提供的MEMS代工和純MEMS代工廠： IDM廠商自身主要以自己的MEMS產(chǎn)品為主，利用空余的產(chǎn)能提供MEMS代工,...
