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刻蝕偏差 (Etch Bias)

點(diǎn)擊量:734 日期:2023-08-22 編輯:硅時(shí)代

刻蝕偏差是指刻蝕以后線寬或關(guān)鍵尺寸間距的變化(見圖1)。它通常是由于橫向鉆刻引起的(見圖2),但也能由刻蝕剖面引起。當(dāng)刻蝕中要去除掩模下過量的材料時(shí),會引起被刻蝕材料的表面向光刻膠邊緣凹進(jìn)去,這樣就會產(chǎn)生橫向鉆刻。計(jì)算刻蝕偏差的公式如下:

刻蝕偏差=Wb-Wa

其中,Wb=刻蝕前光刻膠的線寬

           Wa=光刻膠去掉后被刻蝕材料的線寬

圖1 刻蝕偏差

圖2 刻蝕中的橫向鉆刻和傾斜

刻蝕偏差的大小與很多因素有關(guān):襯底材料、光刻膠上圖形的線寬、刻蝕工藝的參數(shù)等。目前額做法是對版圖上所有的邊緣添加(或減去)一個(gè)固定的線寬,被稱為全片刻蝕偏差(global etch bias)。顯然,這樣的做法比較粗糙,設(shè)有顧及刻蝕偏差是與光刻膠上的線寬有關(guān)的。精確地做法是,建立一個(gè)刻蝕的模型,首先對設(shè)計(jì)的版圖做修正;然后,在做光刻的OPC修正,如圖2(第七章光刻鄰近效應(yīng)修正與計(jì)算光刻 P359 圖7.40)所示??涛g修正可以使用模型,也可以是一些規(guī)則(類似于rules-based OPC)。也有嘗試把刻蝕修正與光學(xué)修正合成在一起的。

圖2 先做刻蝕修正,再做OPC修正的流程圖

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