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mems代加工服務(wù)的地方

點(diǎn)擊量:1292 日期:2020-05-19 編輯:硅時(shí)代

mems加工,mems代工服務(wù)的地方

MEMS代加工服務(wù)商分為IDM廠商提供的MEMS代工和純MEMS代工廠:

IDM廠商提供的MEMS代工包括博世、意法半導(dǎo)體、索尼、德州儀器等

MEMS代工廠主要分為以下三類:

1. 大批量量產(chǎn)MEMS代工廠

國外代工廠:Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Paci?c Microsystems,X-FAB Innovative Micro Technology

國內(nèi)代工廠:臺(tái)積電,中芯國際,華宏宏力,華潤上華等;

2. 小批量中試線:蘇州納米城6MEMS中試線,上海新微8MEMS中試線,淄博6MEMS中試線等;

3. 研發(fā)產(chǎn)品開發(fā)工藝平臺(tái):北京微電子所加工平臺(tái),蘇州納米所加工平臺(tái),上海微系統(tǒng)所加工平臺(tái),上海交通大學(xué)先進(jìn)電子材料與器件校級平臺(tái)等高校和研究所對外開放工藝平臺(tái)。

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