午夜亚洲国产亚洲精品视频免费视频_亚洲日韩欧美第一页_人成在线视频国产_国产乱子伦视频在线观看_四虎成人永久在线精品免费_久久综合亚洲欧美综合成人_日韩精品 综合一区二区_欧美肥老太交性506070ⅤA_日韩美女福利视频_日本免費黃色視頻

新聞

新聞

News

mems器件加工過程【硅時代】

點(diǎn)擊量:2828 日期:2020-12-18 編輯:硅時代

mems器件加工是根據(jù)產(chǎn)品需要,在各類襯底(硅襯底,玻璃襯底,石英襯底,藍(lán)寶石襯底等等)制作微米級微型結(jié)構(gòu)的加工工藝。微納傳感器加工工藝制作的微型結(jié)構(gòu)主要是作為各類傳感器和執(zhí)行器等,其中更加器件原理需要而制作的可動結(jié)構(gòu)(齒輪,懸臂梁,空腔,橋結(jié)構(gòu)等等)以及各種功能材料,本質(zhì)上是將環(huán)境中的各種特征參數(shù)(溫度,壓力,氣體,流量等等)變化通過微型結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)化為各種電信號(電壓,電阻,電流等等)的差異,以實(shí)現(xiàn)小型化高靈敏的傳感器和執(zhí)行器。

包括以下主要工藝步驟:

首先是薄膜沉積步驟(分為犧牲層和結(jié)構(gòu)層),包括熱氧化,CVDPVD,蒸發(fā)等常規(guī)IC工藝;

其次是定義圖像光刻工藝步驟;

最后是圖形轉(zhuǎn)移的刻蝕步驟,包括干法刻蝕和濕法刻蝕兩類;

以及犧牲層去除的釋放工藝,包括干法釋放和釋放釋放兩類

  • 聯(lián)系我們
  • 聯(lián)系電話:0512-62996316
  • 傳真地址:0512-62996316
  • 郵箱地址:sales@si-era.com
  • 公司地址:中國(江蘇)自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)——蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號納米城西北區(qū)09棟402室
  • 關(guān)注與分析
蘇州硅時代電子科技有限公司 版權(quán)所有 Copyright 2020 備案號:蘇ICP備20007361號-1 微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計
一鍵撥號 一鍵導(dǎo)航
国产成人无码一区二区在线观看 | 成在人线av无码免观看 | A国产一区二区免费入口 | 精品偷自拍另类在线观看 | 亚洲性色AV私人影院无码 | 无码毛片内射白浆视频 | 中文字幕乱码人妻无码久久 | 亚洲AV永久纯肉无码精品动漫 | 图片区小说区图片区偷拍蜜 | 日韩人妻无码一区二区免费 | 国产国产精品人在线观看 | 欧美国产一区二区三区精品 | 国内精品久久久久久直播软件 | 一级特黄BBBBB免费观看 | 亚洲中文久久精品无码1 | 精品亚洲麻豆1区2区3区 | 可以观看免费黄长视频大全 | 国产不卡视频一区二区三区 | 最新亚洲AV日韩AV二区 | 中文字幕女人妻热女人妻 | 好屌妞视频在这里只有精品 | 日韩一区二区三区射精-百度 | 国产视频动漫精选日韩无码 | 全免费A级毛片免费看无码软件 | 免费无码一区二区三区蜜桃大 | 国产猛进猛出又黄又爽又色 | 亚洲AV中文AⅤ无码专区 | 国产69精品久久久久999小说 | 人妻体内射精一区二区三区 | 97成人无码免费一区二区中文 | 中文字幕乱码熟妇五十中出 | 精品人妻无码专区在中文字幕 | 欧美性猛交XXXX乱大交3 | 热久久伊人中文字幕无码 | 少妇内射视频播放舔大片 | 中文字幕乱妇无码AV在线 | 久久久久久久女国产乱让韩 | 国产羞羞无码视频在线观看免 | 国产女人乱人伦精品一区二区 | 精品人妻少妇一区二区三区在线。 | 少妇久久久久久被弄到高潮 |