午夜亚洲国产亚洲精品视频免费视频_亚洲日韩欧美第一页_人成在线视频国产_国产乱子伦视频在线观看_四虎成人永久在线精品免费_久久综合亚洲欧美综合成人_日韩精品 综合一区二区_欧美肥老太交性506070ⅤA_日韩美女福利视频_日本免費黃色視頻

新聞

新聞

News

MEMS加工和傳統(tǒng)機(jī)械加工的區(qū)別

點(diǎn)擊量：2663 日期：2021-11-05 編輯：硅時(shí)代

　　在MEMS加工工藝中，從上到毫米，再下到微米的微結(jié)構(gòu)加工技術(shù)都可稱(chēng)之為MEMS工藝制造，其在半導(dǎo)體和微電子工藝基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)，以光刻，鍍膜，刻蝕，外延，氧化，濺射等許多基本的工藝制造復(fù)雜立體的三維微加工技術(shù)。與傳統(tǒng)機(jī)械系統(tǒng)相比，不僅體現(xiàn)在很小的體積方面，其在力學(xué)，運(yùn)動(dòng)學(xué)，材料特性等方面都有巨大差異！?
圖1.1 MEMS工藝制造圖

　　但無(wú)論哪種微小原件都離不開(kāi)光刻，刻蝕，鍍膜三大方面，就是在一個(gè)或多個(gè)循環(huán)的基礎(chǔ)上形成我們想要得到的元器件，在這個(gè)過(guò)程中又以光刻技術(shù)最為重要，所有的MEMS工藝都離不開(kāi)光刻。光刻的好壞直接影響后續(xù)的鍍膜刻蝕等工藝成敗。因此在光刻過(guò)程中尤其注意圖形分辨率以及套刻精度等方面的影響。

圖1.2   光刻流程示意圖


  • 聯(lián)系我們
  • 聯(lián)系電話：0512-62996316
  • 傳真地址：0512-62996316
  • 郵箱地址：sales@si-era.com
  • 公司地址：中國(guó)（江蘇）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)——蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)納米城西北區(qū)09棟402室
  • 關(guān)注與分析
蘇州硅時(shí)代電子科技有限公司 版權(quán)所有 Copyright 2020 備案號(hào)：蘇ICP備20007361號(hào)-1 微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
一鍵撥號(hào) 一鍵導(dǎo)航
国产精品嫩草影院午夜两性 | 久久久久无码精品国产剧情 | 欧美精品一区二区蜜臀亚洲 | 日韩欧美中文字幕公布 | 日韩精品一区二区三区蜜桃 | 亚洲不卡AV无码电影在线观看 | 国产成人+亚洲+综合 | 人妻互换免费中文字幕网站 | 97精品人人搡人妻人人玩 | 国产一级a爱做片免费☆观看 | 精品无码一区二区三区狠狠 | 亚洲一区二区三区乱码AⅤ 少妇人妻一级A毛片无码 | 久久久久久久无码精品色欲 | Q色婷婷色综合激情国产日韩 | 精品精品国产高清a毛片 | 亚洲国产精品VA在线看黑人 | 内射一区二区精品视频在线观看 | 国产精品人人做人人爽人人添 | 内射无套在线观看高清完整免费 | 99久久无码一区人妻A黑 | av永久免费网站在线观看 | 日韩黑人无码久久人妻 | 无码国产精品一区二区高潮 | 国产成人无码a区精油按摩 亚洲一区精品人人爽人人躁 | 亚洲欧洲日本午夜一级精品 | 亚洲va中文字幕无码一区 | 91久久精品一区二区三区大全 | 日韩国产精品一级毛片在线 | 人妻丰满熟妇av无码HD | 色婷婷综合久久久中文字幕 | 亚洲国产精品va在线看黑人 | 欧美图区精品动漫一区二区 | 97一期涩涩97片久久久久久久 | 精品久久久久成人码免费动漫 | 亚洲欧美真实a在线观看 | 国产一区二区三区精品视频 | 一本色道久久88综合日韩精品 | 又硬又粗又大一区二区三区视频 | 欧美中日韩免费观看网站 | 久久午夜夜伦鲁鲁片无码免费 | 精品日韩国产一区二区三区 |