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MEMS器件最常用的加工方法

點(diǎn)擊量:1513 日期:2022-03-26 編輯:硅時(shí)代

MEMS器件常用的MEMS加工方法主要有表面微加工,體硅微加工,LIGA,SOI等。
1、表面微加工:一種是在硅襯底表面采用專業(yè)方法生成薄膜,并和襯底構(gòu)成一個(gè)復(fù)合整體的薄膜加工方法,另一種是通過(guò)腐形成程空腔的犧牲層加工方法。
2、體硅微加工:指通過(guò)多種刻蝕技術(shù)去除基底材料后,得到目標(biāo)三維結(jié)構(gòu)的技術(shù)加工。

3、LIGA:即光刻、電鑄及塑鑄,主要包括三個(gè)工藝步驟,X光深度同步輻射光刻、電鑄制膜和注膜復(fù)制。

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