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微納制造技術在傳感器的應用

點擊量：1318 日期：2022-05-05 編輯：硅時代

微納制造技術是建筑納米科技大廈的基石之一，其在傳感器上的應用成果即MEMS傳感器，包括壓力傳感器，加速度傳感器，圖像傳感器等。這些傳感器在醫(yī)療，汽車電子，運動追蹤等領域都有廣泛應用。

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