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飛秒激光微納制造技術(shù)

點(diǎn)擊量:1636 日期:2022-06-28 編輯:硅時(shí)代

飛秒激光微納加工制造技術(shù)是以微電子,微光學(xué),微機(jī)械為核心的,集現(xiàn)代光學(xué),電子學(xué),材料學(xué),激光技術(shù),精密機(jī)械,計(jì)算機(jī)技術(shù)等多門技術(shù)于一體的,是飛秒激光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域的研究重點(diǎn)。就目前各個(gè)大學(xué)的研究現(xiàn)狀來(lái)看,飛秒激光微納制造目前已經(jīng)形成了各自不同的激光與物質(zhì)相互作用機(jī)制,具體包括微爆炸機(jī)制,熱熔機(jī)制,色心與缺陷機(jī)制等等。中國(guó)科技大學(xué)在飛秒激光雙光子光聚合微細(xì)加工研究方面具有代表性。

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