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測(cè)試服務(wù)

測(cè)試服務(wù)

Testing service

薄膜厚度測(cè)試
應(yīng)用:
–可以測(cè)量最大5層重疊薄膜的厚度和折射率。
–可測(cè)量如氧化物,氮化物,光阻,導(dǎo)電玻璃,聚合物和半導(dǎo)體薄膜等透明或半透明薄膜。
主要技術(shù)指標(biāo)參數(shù):
–對(duì)特定的介電質(zhì)測(cè)量厚度范圍20納米到150微米。
–對(duì)特定的材料厚道測(cè)量精度小于厚度的百分之一。
–測(cè)量波長(zhǎng)范圍350納米到1450納米。
–自動(dòng)測(cè)量點(diǎn)定位的功能,電機(jī)驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)最大可滿足直徑200毫米樣品使用。
–有完備的光學(xué)參數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)可供調(diào)用。


為什么深硅刻蝕中C4F8能起到鈍化作用?
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2024-11-27

RIE是一種結(jié)合了物理濺射和化學(xué)反應(yīng)雙重機(jī)制的刻蝕技術(shù)。在等離子體中,離子和中性自由基共同作用于材料表面。其中,自由基的密度遠(yuǎn)高于離子,它們通...

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【半導(dǎo)體材料】電子封裝材料有哪些?
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2024-11-29

電子封裝材料作為連接芯片與外部世界的橋梁,其重要性不言而喻。合格的封裝不僅能夠?yàn)樾酒峁┪锢肀Wo(hù),實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格化的互連,更是確保電子產(chǎn)品性能...

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【MEMS工藝】三種常見(jiàn)CVD技術(shù),你知道的有哪些?
【MEMS工藝】三種常見(jiàn)CVD技術(shù),你知道的有哪些?

2024-11-04

本文將詳細(xì)介紹目前三種常見(jiàn)的CVD技術(shù)——低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)以及高密度等離子體化學(xué)氣相沉...

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【微納加工】晶圓傳輸設(shè)備,是智能制造加速器還是成本黑洞?
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2024-11-05

在半導(dǎo)體芯片制造中,從原材料處理到最終封裝測(cè)試,整個(gè)流程涉及上千道工序,每一環(huán)節(jié)都需要精確控制,以確保芯片的性能與質(zhì)量。隨著科技的飛速發(fā)展,...

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